威尼斯welcome登录入口交叉学科论坛系列报告:报告主题:光刻工艺及其应用(自上而下与自下而上)

2019-09-16 12:00:00


报告主题:光刻工艺及其应用(自上而下与自下而上)

报告专家:复旦大学,熊诗圣研究员

报告时间:2019年9月17日(周二 )上午9:00至 12:00

报告地点:南昌大学前湖校区空间科学与技术研究院会议室

报告内容简介:
普通光刻,电子束光刻与导向自组装光刻技术,以及微电子行业应用与微纳加工。

专家介绍:

熊诗圣,现任复旦大学信息科学与工程学院研究员,博士生导师。本科毕业于原水利电力学院,硕士毕业于武汉大学电力系统自动化专业,之后赴美留学并取得新墨西哥大学/桑迪亚国家实验室微纳系统专业博士学位。历任西部数据公司研发工程师,芝加哥大学研究助理教授、研究副教授等职。多年来一直从事导向自组装光刻技术(Directed self-assembly)用于10纳米以下新型微纳电子器件制造方面的工作,推动半导体行业的“摩尔定律”向深纳米尺寸前进。通过与导向自组装光刻技术研究的先驱Paul F. Nealey院士, 以及英特尔公司,东京电子公司,欧洲微电子中心等国际半导体企业长期紧密合作,致力于将基于嵌段高分子共聚物的导向自组装光刻技术推广应用于场效应晶体管及高密度磁存储制造的生产流程中。其所在团队近年的研究成果已获得学术界和工业界的高度评价,论文合计三十余篇发表在自然纳米技术等国际顶级学术期刊,撰写专著一本,共申请国内外专利十余项。现任《微电子制造》国际期刊编委。2017年回国并加入复旦大学后专注于极限微纳制造与新型微纳电子器件,曾接受新华社,中国新闻网,科技日报等媒体专访及重点报道。

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南昌大学空间科学与技术研究院
2019.9.16